PRODUCT LFX-1000R/2000R
LFX-1000R/2000R の特徴
- 小型・省スペースのインライン装置
- ICワイヤーボンディングX線検査装置 LFX-1000Rは、リール状のIC部品の内部状態をX線を用いて透視検査する装置
- テープリール内のICを巻き取りながら、1個、1個のICのワイヤーボンディングの接続状況などを自動検査(Good /NG判定)
- 対応可能リール寸法:180〜380mm
LFX-1000R/2000R
仕様
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検査方式
2D-X線透過方式
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X線管種類
マイクロフォーカスX線源(密閉型)
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ターゲット方式
LFX-1000R:反射型
LFX-2000R:透過型 -
X線出力
LFX-1000R:30 - 90kV、100μA
LFX-2000R:30 - 110kV、200μA -
リール幅
5~30mm
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リール径
φ150~400mm
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部品高さ
基板上5mm、 基板下5mm
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テープ搬送方法
送り穴を利用したスプロケット方式
入口・出口リール:トルクモーターによるバックテンション駆動 -
X線受像部
130万画素、 長寿命型X線フラットパネル
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表示部
24インチLCD
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エアー供給
0.45MPa、50L/min
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制御OS
Microsoft Windows10 Enterprise
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電源
単相AC200~240V、1.5kVA
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装置寸法、重量
本体:900(W)×1,000(D)×1,500(H)mm、900kg
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X線外部線量
1μSv/h以下
検査項目
リードフレーム位置
1stボンディング位置
ワイヤーの長さ
ワイヤー切れ
ワイヤー流れ
2ndボンディング位置
ICのワイヤーボンディングの自動検査
ICワイヤーボンディングの観察
LED検査
PRODUCT LISTX線検査装置
製品一覧
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ILX-1000j /1100 /2000
3次元インラインX線検査装置
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FX-300tR2/FX-300tRL2リールtoリール観察機能
X線検査装置
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FX-300tRL2
X線検査装置
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X線ステレオ方式®︎3次元X線検査装置
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3D-X線ステレオ方式® X線検査装置
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3D-X線ステレオ方式® X線検査装置
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FX-400/500tRX-LL大型基板対応 X線ステレオ方式®︎3次元X線検査装置
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IX-1610
X線検査装置
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LFX-1000/2000
ICワイヤーボンド/リードフレーム自動検査装置
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X-CAS-2
シリコンウェーハ結晶欠陥ボイド検査装置
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Six-3000
X線ウェーハバンプ自動検査装置
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生産終了品