PRODUCT FX-500tRX
FX-500tRX の特徴
- パワーデバイスのバスバー下部、パワーチップ下部、絶縁基板の下部のはんだ部を個別に検査することが可能
- 130kV,300μAの高出力X線源で銅板5mmも透過可能
- 超寿命130万画素X線フラットパネルによりランニングコストが大幅に低減
- X線ステレオ方式®によって実装基板の表面、裏面の分離(約4秒)
- X線ステレオCT方式®によって実装基板の水平断面300層取得(約50秒)
- CT機能を用いた自動検査(OK/NG判定)
- 2次元コードを用いてのトレーサビリティ対応
仕様
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X線管種類
マイクロフォーカス密閉源(密閉型)
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X線ターゲット位置
反射型ターゲット
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X線管電圧、管電流
40 - 130kV、 300μA
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最小X線焦点径
10μm
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検査トレイサイズ
330×250mm
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検査領域(ステレオ方式、ステレオCT方式の領域も同じ)
330×250mm
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Z1軸ストローク
Z1(X線カメラ上下):60~500mm
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Z2軸ストローク
Z2(X線管上下):0~110mm
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Q軸ストローク
Q軸(X線カメラ傾斜):0~60°
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幾何学倍率
幾何学倍率:42倍
FOD:X線源-サンプル距離(最小)=12mm
FID:X線源-受光部距離(最大)=500mm、 500/12=42倍 -
モニター表示倍率 ※他社密閉管の表示倍率と 同等に記述した場合
モニター表示倍率:252倍
X線受光部センサ寸法=50×50mm 24インチモニター表示エリア寸法=300×300mm
画像表示寸法/X線受光部=300/50=6倍
幾何学倍率×表示拡大率=42×6=252倍 -
X線画像分解能
130万画素X線フラットパネル、 1180×1100pixel、 14bit(16,384階調)
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CCDカメラ部種類
カラーCCDカメラ(ワーク撮影用)
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表示ディスプレイ
24インチLCD(1920×1200pixel)
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エアー供給
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電源
単相AC200~230V、 1.5kVA
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装置寸法
1,300(W)×1,150(D)×1,480(H)mm
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装置重量
1,300kg
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オプション
ステレオCT、V-CT(垂直方向)、P-CT(ななめ方向)、マニプレータ、ターンテーブル、
自動検査、リペアステーション(QRトレサビリティ対応) -
X線漏洩線量
1μSv/h以下、 X線取扱資格は不要(国外では設置国の法令に従ってください)
検査項目
パワーデバイス検査用X線装置
電池検査・リチウム電池検査
BGAのはんだ検査
PRODUCT LISTX線検査装置
製品一覧
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ILX-1000j /1100 /2000
3次元インラインX線検査装置
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FX-300tR2/FX-300tRL2リールtoリール観察機能
X線検査装置
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FX-300tRL2
X線検査装置
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FX-300tRX2 with CT
X線ステレオ方式®︎3次元X線検査装置
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FX-400tRX
3D-X線ステレオ方式® X線検査装置
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FX-300tRX2-LL
FX-400/500tRX-LL大型基板対応 X線ステレオ方式®︎3次元X線検査装置
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IX-1610
X線検査装置
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LFX-1000/2000
ICワイヤーボンド/リードフレーム自動検査装置
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LFX-1000R/2000R
リール対応ICワイヤーボンド自動検査装置
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X-CAS-2
シリコンウェーハ結晶欠陥ボイド検査装置
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Six-3000
X線ウェーハバンプ自動検査装置
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生産終了品