PRODUCT FX-300tRX2 with CT
FX-300tRX2 with CT の特徴
- コンパクトな小型X線装置でありながら、幾何学倍率1000倍を達成
- アイビット独自の『X線ステレオ方式®』で裏面情報キャンセル
- フラットパネルが60°傾斜して観察可能、斜め観察でも倍率が下がらない
- 斜めからの観察には観察位置を自動追従(カメラ傾斜してもポイントがずれない)
- 各種測定機能付き
- オプションで検査機能追加可能
- ターゲット~試料0.5mm、ターゲット~X線カメラ500mm:500/0.5=1000、幾何学倍率1000倍を達成
仕様
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X線管種類
マイクロフォーカス密閉型源(密閉型)
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X線ターゲット位置
透過型ターゲット(開放管と同じ方式)
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X線管電圧、管電流
30~90kV、0~60μA
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X線管焦点径
5μm
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ターゲット回転機構
500h毎にターゲット回転、メッセージ出力
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検査トレイサイズ
330×250mm
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X-Y軸ストローク
X軸:330mm,Y軸:250mm
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Z1軸ストローク
Z1(X線カメラ上下):150~500mm
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Z2軸ストローク
Z2(X線管上下):0~140mm
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Q軸ストローク
Q軸(X線カメラ傾斜):0~60°
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幾何学倍率
幾何学倍率:1000倍
X線源-サンプル距離= 0.5mmX
X線現-受光部距離=500mm、500/0.5=1000倍 -
モニタ表示倍率 ※)他社密閉管の表示倍率と 同等に記述した場合
モニタ表示倍率:6000倍 X線受光部センサ寸法=50×50mm 24インチモニタ表示エリア寸法= 300×300mm 画像表示寸法/X線受光部= 300 / 50 =6倍 幾何学倍率×表示拡大率= 1000×6= 6000倍
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X線画像分解能
130万画素、1180×1080pixel,14bit(16,384階調)
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CCDカメラ部種類
カラーCCDカメラ(ワーク撮影用)
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表示ディスプレイ
24インチLCD
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エアー供給
ー
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電源
単相AC200V,1.5KVA
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装置寸法
1.3(W)×1.1(D)×1.45(H)m
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装置重量
900kg
検査項目
実装基板のBGA等のはんだ部の検査
LEDのフリップチップ実装のはんだ部の検査
パワーデバイス(IGBT)の2層はんだ部のボイド検査
BGAのクラック観察
BGAのはんだ未接続部の観察
ICのワイヤーボンディングの観察
LGAの接合不良
プリント配線板の不良
実装基板のスルーホールX線観察
スルーホールのX線観察
パワーデバイス検査用X線装置
BGA検査・実装基板検査
OPTION
OPTION 01
ステレオCT機能
X線ステレオCT方式で、実装基板の上面から下面までを300層にスライス。
(従来の100層断面から、300層断面に解像度が3倍に上がりました)
X線ステレオCT機能で300層のスライス画像を取得
LGAモジュール 接続部の観察
OPTION 02
チップカウンター機能
オプション機能でチップ数のカウントも可能となりましたX線装置にセットして約30秒程度で、テープ内のチップ数を勘定します
- ◎リールに巻かれたエンボステープ内の電子部品「角チップ、IC、LED、 その他電子部品等」の数量を、X線透過画像でカウントします。
◎テープリールのままの状態で装置内にセットし、カウントボタンを押 すと、約30秒ほどで「リール内の部品」の数量をカウントします。
◎カウントした数量は、バーコードとリンクしてCSVファイルに出力されます。 ※チップ以外のLED、IC等も計測可能です。
多層配線基板の内部CT画像
OPTION 03
ななめCT機能、垂直CT機能
X線ステレオCT方式で、実装基板の上面から下面までを300層にスライス。
(従来の100層断面から、300層断面に解像度が3倍に上がりました)
- ◎対象ワークをターンテーブルで360°回転させ、画像を取得します。
◎ボリュームレンダリングソフトウエアによる、3D出力、
断層アニメーション出力も可能です。
◎3次元画像データの再構成には、専用のグラフィックス・プロセッシング・ユニット(GPU)を使用することで、従来比1/30の高速化を実現しました。
画像処理で1個1個を認識します
銅ワイヤー(φ18μm)部品のCT3D画像
PRODUCT LISTX線検査装置
製品一覧
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ILX-1000j /1100 /2000
3次元インラインX線検査装置
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FX-300tR2/FX-300tRL2リールtoリール観察機能
X線検査装置
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FX-300tRL2
X線検査装置
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FX-400tRX
3D-X線ステレオ方式® X線検査装置
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FX-500tRX
3D-X線ステレオ方式® X線検査装置
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FX-300tRX2-LL
FX-400/500tRX-LL大型基板対応 X線ステレオ方式®︎3次元X線検査装置
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IX-1610
X線検査装置
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LFX-1000/2000
ICワイヤーボンド/リードフレーム自動検査装置
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LFX-1000R/2000R
リール対応ICワイヤーボンド自動検査装置
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X-CAS-2
シリコンウェーハ結晶欠陥ボイド検査装置
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Six-3000
X線ウェーハバンプ自動検査装置
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生産終了品