PRODUCT LFX-1000/2000
LFX-1000/2000 の特徴
- リードフレーム上のIC部品の内部状態をX線を用いて透視検査する装置
- 前段のローダ部にリードフレームの入ったマガジンをセットし、自動供給、検査、自動収納を全自動で行う
- ワイヤーボンディングの接続状況やダイアタッチ、異物混入などを自動で検査(Good/NG判定)
- マイクロフォーカスX線管と高感度X線フラットパネルにより、高解像度のX線画像を取得し、高精度な検査を可能とする
LFX-1000/2000
仕様
-
検査方式
2D-X線透過方式
-
X線管種類
マイクロフォーカスX線源(密閉型)
-
ターゲット方式
LFX-1000:反射型
LFX-2000:透過型 -
X線出力
LFX-1000:30 - 90kV、100μA
LFX-2000:30 - 110kV、200μA -
検査サイズ
50×100~150×200mm
-
部品高さ
基板上5mm、基板下5mm
-
ワーク搬送幅
3mm
-
ワーク厚さ
0.5~1.0mm
-
X線受像部
130万画素、 長寿命型X線フラットパネル
-
表示部
24インチLCD
-
エアー供給
0.45MPa、 50L/min
-
制御OS
Microsoft Windows10 Enterprise
-
電源
単相AC200~240V, 1.5kVA
-
装置寸法/重量
LFX-1000:
本体:900(W)×1,000(D)×1,500(H)mm / 800kg
LFX-2000:
本体:900(W)×1,000(D)×1,500(H)mm / 900kg
共通:
ローダ部 610(W)×910(D)×1,500(H)mm / 300kg(オプション)
アンローダ部 910(W)×910(D)×1,500(H)mm / 400kg(オプション) -
X線外部線量
1μSv/h以下
検査項目
ICのワイヤーボンディングの自動検査
LED検査
PRODUCT LISTX線検査装置
製品一覧
-
ILX-1000j /1100 /2000
3次元インラインX線検査装置
-
FX-300tR2/FX-300tRL2リールtoリール観察機能
X線検査装置
-
FX-300tRL2
X線検査装置
-
FX-300tRX2 with CT
X線ステレオ方式®︎3次元X線検査装置
-
FX-400tRX
3D-X線ステレオ方式® X線検査装置
-
FX-500tRX
3D-X線ステレオ方式® X線検査装置
-
FX-300tRX2-LL
FX-400/500tRX-LL大型基板対応 X線ステレオ方式®︎3次元X線検査装置
-
IX-1610
X線検査装置
-
LFX-1000R/2000R
リール対応ICワイヤーボンド自動検査装置
-
X-CAS-2
シリコンウェーハ結晶欠陥ボイド検査装置
-
Six-3000
X線ウェーハバンプ自動検査装置
-
生産終了品