PRODUCT
FX-300tRX2-LL
FX-400/500tRX-LL
FX-300tRX2-LL FX-400/500tRX-LL の特徴
- 実装基板の裏面をキャンセルし、実装基板の上から下まで を300層にスライス
- 2D透過、斜め60度観察:700×600mm
- 3D X線ステレオCT観察:600×600mm
- 幾何学倍率:最低1.4倍~最大1000倍(FX-300tRX-LL)
- 選べるX線出力:90kV、110kV、130kV
- 高解像度(JIMAチャート確認):2um(FX-400tRX-LL)
- 3D X線V-CT対応(垂直CT)
- 3D X線P-CT対応(ななめCT)
- スルーホールはんだ充填率測定
仕様
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X線管種類
マイクロフォーカス密閉型X線管
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X線ターゲット位置
FX-300tRX2-LL , FX-400tRX-LL:
透過式ターゲット(開放型X線管と同じ)
FX-300tRX2-LL , FX-400tRX-LL:
透過式ターゲット(開放型X線管と同じ)
FX-500tRX-LL:
反射型ターゲット -
X線管電圧
FX-300tRX2-LL:30 - 90kV
FX-400tRX-LL:40 - 110kV
FX-500tRX-LL:40 - 130kV -
X線管電流
FX-300tRX2-LL:0 - 60μA
FX-400tRX-LL:0 - 200μA
FX-500tRX-LL:0 - 300μA -
最小X線焦点径
FX-300tRX2-LL:5μm
FX-400tRX-LL:2μm
FX-500tRX-LL:10μm -
ターゲット回転機構
FX-300tRX2-LL:500h毎に回転
FX-400tRX-LL:300h毎に回転
FX-500tRX-LL:なし -
検査トレイサイズ
700×600mm
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検査領域(2D、含む60°傾斜)
700×600mm
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検査領域(ステレオ方式、ステレオCT)
600×600mm
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X線カメラ上下軸ストローク
Z1軸:500mm
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X線管上下軸ストローク
Z2軸:140mm
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X線カメラ傾斜ストローク
0~60°、1°単位でプログラミング可能
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幾何学倍率
FX-300tRX2-LL:
幾何学倍率:1,000倍
X線源-サンプル距離(最小):0.5mm
X線源-X線受像部(最大):500mm
500/0.5=1,000倍
FX-400tRX-LL:
幾何学倍率:500倍
X線源-サンプル距離(最小):1.0mm
X線源-X線受像部(最大):500mm
500/1.0=500倍
FX-500tRX-LL:
幾何学倍率:42倍
X線源-サンプル距離(最小):12.0mm
X線源-X線受像部(最大):500mm
500/12=42倍 -
モニター表示倍率
FX-300tRX2-LL:
幾何学倍率:6,000倍
X線受光部サイズ:50×50mm
X線画像表示パネルサイズ:300×300mm
画像表示寸法/X線受光部寸法=300/50=6倍
幾何学倍率×表示拡大率=1,000×6=6,000倍
FX-400tRX-LL:
幾何学倍率:3,000倍
X線受光部サイズ:50×50mm
X線画像表示パネルサイズ:300×300mm
画像表示寸法/X線受光部寸法=300/50=6倍
幾何学倍率×表示拡大率=500×6=3,000倍
FX-500tRX-LL:
"幾何学倍率:252倍
X線受光部サイズ:50×50mm
X線画像表示パネルサイズ:300×300mm
画像表示寸法/X線受光部寸法=300/50=6倍
幾何学倍率×表示拡大率=42×6=252倍" -
X線受光部
130万画素X線フラットパネル
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X線画像分解能
1180×1100pixel、14bit(16,384階調)
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装置内ワーク撮影カメラ
カラーカメラ内蔵
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表示ディスプレイ
24インチLCD(1920×1200pixel)
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エアー供給
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電源
単相AC200 ~ 230V、 1.5kVA
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装置寸法
1,930(W)×1,680(D)×1,830(H)mm
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装置重量
1,950kg
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オプション
ステレオCT、V-CT(垂直方向)、P-CT(ななめ方向)、マニプレータ、ターンテーブル、自動検査、リペアステーション(QRトレサビリティ対応)
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X線漏洩線量
1μSv/h以下、X線作業主任者の資格は不要です(国外では設置国の法令に従ってください)
検査項目
BGAのクラック観察
BGAのはんだ未接続部の観察
LGAの接合不良
プリント配線板の不良
実装基板のスルーホールX線観察
スルーホールのX線観察
パワーデバイス検査用X線装置
ICワイヤーボンディングの観察
生基板検査の詳細事例集
BGA検査・実装基板検査
大型基板700×600mmの検査
基板の内装パターン
PRODUCT LISTX線検査装置
製品一覧
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ILX-1000j /1100 /2000
3次元インラインX線検査装置
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FX-300tR2/FX-300tRL2リールtoリール観察機能
X線検査装置
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FX-300tRL2
X線検査装置
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FX-300tRX2 with CT
X線ステレオ方式®︎3次元X線検査装置
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FX-400tRX
3D-X線ステレオ方式® X線検査装置
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FX-500tRX
3D-X線ステレオ方式® X線検査装置
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IX-1610
X線検査装置
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LFX-1000/2000
ICワイヤーボンド/リードフレーム自動検査装置
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LFX-1000R/2000R
リール対応ICワイヤーボンド自動検査装置
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X-CAS-2
シリコンウェーハ結晶欠陥ボイド検査装置
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Six-3000
X線ウェーハバンプ自動検査装置
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生産終了品