ILX-1000j /1100 /2000
3次元インラインＸ線検査装置

FX-300tR₂/FX-300tRL₂リールtoリール観察機能
Ｘ線観察装置

FX-300tRL₂
Ｘ線観察装置

FX-300tRX₂ with CT
Ｘ線ステレオ方式®︎3次元Ｘ線観察装置

FX-400tRX
3D-Ｘ線ステレオ方式® Ｘ線観察装置

FX-500tRX
3D-Ｘ線ステレオ方式® Ｘ線観察装置

FX-300tRX₂-LL FX-400/500tRX-LL
大型基板対応 Ｘ線ステレオ方式®︎3次元Ｘ線観察装置

IX-1610
Ｘ線観察装置

LFX-1000/2000
ICワイヤーボンド/リードフレーム自動検査装置

LFX-1000R/2000R
リール対応ICワイヤーボンド自動検査装置

X-CAS-2
シリコンウェーハ結晶欠陥ボイド検査装置

Six-3000
Ｘ線ウェーハバンプ自動検査装置