ウェーハバンプX線検査装置 Six-3000




ウェーハ上のマイクロバンプをX線検査で管理モニタリングが可能になりました。

概 要

■ウェーハバンプX線検査装置 Six-3000は、ウェーハ上のマイクロバンプの内部状態をX線を用いて透視検査する装置です。

●バンプ内のボイド(気泡)の有無を検査し、ボイドの寸法を自動計測し許容値を超えるボイドを有する場合はNG判定を行います。

●FOUPから自動で取り出し、X線装置への自動供給、自動検査、自動収納を全自動で行います。登録レシピで自動検査が可能です。

●焦点径0.25μmのナノフォーカスX線管を採用、X線カメラは高解像度4MB(16bit)を採用、空間分解能0.25μmを達成しました。

●検査内容 : バンプ直径測定、ボイド測定、バンプ高さ測定、バンプ形状検査

●検査可能バンプサイズ : φ10μm以上

●検査可能ボイドサイズ : バンプ高さによる(バンプ高さ20μmの場合、φ2μm以上)

特 徴

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仕様一覧 Six-3000

型式 Six-3000
X線管種類 マイクロフォーカス密閉型X線源(水冷式)
X線受像部 1,600万画素高解像度フラットパネル
対応ウェーハ寸法 12インチ
真空 −56kPa 20N/min 接続口径⌀4(ワンタッチ継ぎ手)
圧縮エアー供給 供給圧力 0.5Mpa以上 接口径⌀8続(ワンタッチ継ぎ手) 
供給電源 3相 AC200V、6KVA
装置寸法 2,210(w) × 1,500(d) × 1,770(h)mm
装置重量 2,000kg
X線漏洩線量 1μSv/h以下、 X線取扱資格は不要

※このようなX線装置もあります。詳細については、お問合せください。

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