X線自動検査装置 IX-1600

■幾何学倍率:1200倍
■X線焦点径:0.25μm
■世界最高クラスのX線解像度を持った、
 不良解析機能付きX線自動検査装置

X線焦点寸法0.25μmの高解像度を持ったX線自動検査装置

特 徴

①160kV、0.2mA、0.25μm開放型マイクロフォーカスX線管採用
 世界最小クラスのX線焦点寸法(0.25μm)

②X線幾何学倍率:1200倍

③透過型ターゲットを採用

④145万画素X線デジタルI.I管採用

⑤6軸制御により高機能観察、自動検査が可能

⑥360°回転ターンテーブル付、サンプル位置自動修正

⑦カメラ60°傾斜機能付き、サンプル位置自動修正

⑧X線マップ表示機能、マップ位置クリックで座標移動

⑨自動検査機能、ボイド検査、ブリッジ検査など

⑩マーキング機能内蔵、不良箇所にはマーキング

⑪PC内蔵、20インチLCD、キーボード付属

仕様一覧

型式 IX-1600-3 IX-1600-1 IX-1600-04
X線管種類 マイクロフォーカス、 密閉型
X線管電圧 20~110kV 20~160kV
X線焦点径 0~0.2mA
X線管焦点径 0.25μ
X線管受像部 145万画素X線イメージ・インテンシファイア(I.I)
ワーク寸法 330×250mm
ワーク追従範囲 330×250mmの全範囲を追従可能
X軸ストローク 430mm
Y軸ストローク 490mm
X線カメラ軸ストローク(Z1) 500mm
X線管ストローク(Z2) 90mm
X線カメラ軸傾斜角度(θ) 0°~60°
ターンテーブル回転角度(θ) 360°CW、CCW、連続回転可能
マーキング機能 自動検査機能、不良個所マーキング機能
モニタ 20インチLCD
供給電源 単相 AC200V 6KVA、単相 AC100V 1KVA
X線漏洩線量 1μSv/h 以下
装置寸法 1390(W)×1445(D)×1850(H)mm
装置重量 1500Kg
オプション Lサイズ、CT追加

自動ドアー(オプション) ボタン1つで自動ドア開閉

IX-1600撮影画像01

基板のスルーホールのクラック検査

IX-1600撮影画像01

ウエハーレベルCSPバンプ形状検査

IX-1600撮影画像01

TSV検査

メッキ部分が正確に埋まっているかX線で確認可能
IX-1600撮影画像01
IX-1600撮影画像01
IX-1600内部画像
IX-1600撮影画像02
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