インラインX線自動検査装置 ILX-5000

■管電圧:150kV、500μA、75w
■はんだボイド自動検査
■不良箇所マーキング

ダイボンド(はんだ付け実装)部分を自動検査するX線自動検査装置

概 要

■本装置はX線を用いてパワーデバイスのダイボンド(はんだ付け実装)部を透過撮影し、 そのX線透過画像から、ダイボンド部分を自動検査する装置です。

■ベアチップの実装傾きやはんだ量、はんだのボイド率を自動測定し、OK/NGを自動判定します。

■オプション機能として不良箇所へのマーキングも可能です。

■ X線源には焦点径5ミクロンのマイクロフォーカスX線管、受像部には145万画素の最新式のX線デジタルI.I(イージ・インテンシファイヤ)を採用することで高解像度のX線画像を抽出でき、高精度な検査が行えます。

仕様一覧

型式 ILX-5000
X線管種類 マイクロフォーカス、密閉型
X線管電圧 40~150kV
X線管焦点径 5,10,20,50μm切替
画像分解能 1380×1030×12bit 4096階調
X線管受像部 145万画素 4インチイメージ・インテンシファイア(I.I)
ワーク寸法 500×500mm
不良個所マーキング 油性マーキングペンでマーキング(赤、青、黄、緑、紫、黒)6色選択可能
X線漏洩線量 1μSv/h 以下
エアー供給 0.5Mpa
供給電源 3相 AC200V、6kVA
装置寸法 2120(W)×2111(D)×1825(H)mm
装置重量 2500Kg

ILX-5000検査メニュー画面

ILX-5000資料

●φ220mmのI.Iを用いることで広い視野で検査が可能となり、 検査速度の向上が図れる。(オプション)

9インチI.Iで広角視野検査

検査終了後は不良箇所マーキング

ILX-5000資料

●φ220mmのI.Iを用いることで広い視野で検査が可能となり、検査速度の向上が図れる。(オプション)

●通常はキャップにて乾燥防止
●マーキング色は「赤・青・黄・黒・緑・水」の6種類から選択可能
●良品ワークにマーキングも可能

地図アイコン
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