X線ダイボンダ DBX-5000

ダイボンダ機能搭載X線検査装置です。
ダイボンドの最中をX線を用いて観察する事が可能です。

ダイボンダ機能付きX線検査装置

概 要

■ダイボンダ機能搭載X線検査装置です。

■ダイボンドの最中をX線を用いて観察することが可能です。

機 能

□水素還元/窒素雰囲気 □メインヒータ □150kV、0.5mA、75W、焦点径5μX線管
□水素濃度可変 □水冷・冷却ステージ □受光部φ230mm口径X線イメージ・インテンシファイア
□予熱ステージ □コレットヒータ □AVIファイル、BMPファイルで動作撮影
□水素ミックスチャ付属 □コレット動作 □全11稼働軸を自動プログラミング可能

PCで温度・水素濃度プロファイル管理

DBX-5000資料01

30fps(1秒間の30コマ)でダイボンド時の動作撮影が可能

DBX-5000資料02

パワー半導体のボイド自動検査例

DBX-5000資料03
地図アイコン
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