IC検査

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コンパクトな装置でありながら幾何学倍率900倍を達成したIC検査用X線装置/FX-300tR(オフライン型)

管電圧90kV・焦点径5μm・幾何学倍率900倍
IC検査用X線装置FX-300tR

コンパクトでありながら、幾何学倍率900倍を達成したコストパフォーマンス高いX線装置

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IC検査用X線装置/FX-300tRの特徴

1.幾何学倍率(拡大率):1.5倍〜900倍 開放型X線と同じ透過式ターゲット採用 モニター倍率:1500倍

2.カメラを傾斜しても倍率下がらない

3. X、Y、Z1、Z2、θ軸の5軸でプログラミング移動可能(この価格帯で5軸制御はFX‐300tRのみ)

4.良品画像を登録、プログラミング移動時に表示

5.自動検査機能(オプション)

6.X線ステレオ画像差分方式による裏面画像除去

03

IC検査用X線装置/FX-300tRではX線管を密着させてカメラを傾斜させての撮影が可能

X線カメラが60度傾斜することで、はんだ付け部を非破壊で検査することができます。
IC検査03

開放型X線と同じ透過式ターゲット採用

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ICのワイヤーボンド観察

100ピンQFP部品を1視野で撮影
IC検査画像04
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2ndボイド側の圧着部の凹型が観察できる

IC検査画像05

打痕の凹凸が確認できる

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カメラを60度傾斜して観察

IC検査画像06
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COBサンプル(次ページに赤枠部を拡大)

IC検査画像07
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COBサンプル拡大図

IC検査画像08

赤枠部(ワイヤーボンディング)を拡大

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カメラが60度傾斜して撮影

IC検査画像09
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サンプル2(次ページに赤枠部を拡大)

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拡大表示1(次ページに赤枠部を拡大)

IC検査画像11
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上部赤枠部表示

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カメラを60度傾斜して撮影

IC検査画像13
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IC検査用X線装置/FX-300tRのターンテーブル(オプション設定)

IC検査ターンテーブル画像14

特徴:サンプルの角度を変えながら観察できる

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LEDのワイヤーボンディング

IC検査画像15

LEDのワイヤーボンド検査画像

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1005コンデンサの撮影

IC検査画像16

1005コンデンサをFX-300tRで観察

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1005コンデンサ(倍率比較撮影図)

IC検査画像17
10倍~900倍まで任意に可変
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1005コンデンサ(400倍)

IC検査画像18
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